TSMC工場内部をメディア初 単独取材！モニタリングルームに潜入！工場排水の処理は？

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概要

TLDRTSMC熊本工場は、半導体製造に必要な大量の水を効果的に管理するため、地下に広大な水処理施設を有しています。この工場では、毎日8500トンの水を汲み上げ、超純水として使用された後、36種類の方法で再処理されます。再利用率は75%で、水は工場内で平均3.5回使用された後に排水されます。また、日本の厳しい排水基準に適合するため、特にフッ素の基準値を下回るよう監視体制を強化しています。自治体の基準をさらに厳しく設定し、異常があれば24時間体制で迅速に対処する仕組みを整えています。環境への影響については、専門家が定期的に分析を行い、問題がないことを確認しています。TSMC熊本工場は、台湾内にあるTSMC他工場と比較しても10分の1以下の生産規模ですが、地域の環境を守るため、行政と住民が一体となって監視を続ける体制を構築しています。

収穫

  • 🏭 TSMC熊本工場は半導体製造に大量の水を使用
  • 🌊 毎日8500トンの水を地下から汲み上げる
  • 🧪 超純水が必要な洗浄工程で使用される
  • ♻️ 平均3.5回水を再利用するシステム
  • 📏 フッ素の基準値は日本では特に厳しい
  • 🔍 使用水は24時間体制で監視されている
  • 🚨 自動制御で基準超過時の対応を実施
  • 🛠 日本に特化した排水処理施設を導入
  • 🔬 科学的根拠に基づいて環境影響を分析
  • 👥 行政・住民と連携し環境監視を継続

タイムライン

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    台湾の半導体製造大手TSMC熊本工場では、半導体製造に使用する水の処理に特化した地下施設が存在し、回収率は75％となっています。この施設では、工場内の井戸から1日8500トンの水を汲み上げ、超純水を作り出し、半導体洗浄に利用されます。使用後の廃水は化学物質の種類・濃度により36種に分別され、適切な処理が施され再利用されますが、永久的な再利用が不可能なため、日平均3960トンが下水処理場へと排出されています。日本の排水基準を満たすため、特にフッ素除去に力を入れており、熊本の厳しい基準をクリアするために追加投資をして新設備を導入しています。工場内では24時間体制で水質を監視しており、自社で設けた厳しい基準を超えた場合は即対応可能な体制です。環境影響に関しては、日本国内の監視と専門家による分析・公表が行われており、地元住民へも透明性のある情報提供が進められています。

マインドマップ

ビデオQ&A

  • TSMC熊本工場での水の再利用率は？

    75%です。水は平均3.5回再利用されます。

  • TSMC熊本工場で使用されている水管理システムは台湾にもありますか？

    いいえ、日本の厳しい排水基準に特化したシステムです。

  • 日本のフッ素排水基準はどのくらい厳しいですか？

    日本の基準は8ppmですが、熊本ではさらに厳しく4ppmです。

  • TSMC熊本工場の稼働率はどのくらいですか？

    現在の稼働率は約50％です。

  • TSMCの水処理に関する監視体制はどうなっていますか？

    24時間体制でモニタリングされ、異常があれば即座に対処されます。

  • 工場が使用する水の量はどのくらいですか？

    1日平均4800トンを汲み上げ、1万9200トンを使用します。

  • 熊本工場の排水はどのように管理されていますか？

    自治体や専門家が監視し、フッ素値などを厳しく管理しています。

  • TSMC熊本工場の水質基準はどのように設定されていますか？

    自社基準で3mg/L以下とし、厳しく管理しています。

  • TSMC熊本工場の排水処理が熊本県の環境に与える影響は？

    今のところ悪影響は報告されていません。

  • 水道への放流が基準を超えた場合の対策は？

    自動弁で放流をストップし、再処理されます。

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    地下に広がったサッカーコート４面分の広大な水処理施設
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    回収率が７５％なので汲み上げた水が工場で３．５回くらい使ったうちにようやく工場を排水として出ていく形になっています
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    今回はTSMC熊本工場の排水に注目します
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    半導体の製造に大量に必要になる水の流れを整理すると
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    まず工場内の８つの井戸から１日８５００ｔほど水を汲み上げます
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    ナノレベルのゴミの付着も許さない半導体の洗浄には「混じりけなしの水」『超純水』が必要で
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    ３つの工程を重ねることで作り出します
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    超純水は半導体製造装置が並ぶクリーンルームへと送られます
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    半導体の洗浄に使われたあとの廃水は含まれる化学物質の種類や濃度によって３６種類に分けられ
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    それぞれに適した処理をすることによって再利用可能なほど水を浄化
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    工場内の水は平均３．５回繰り返し使用されますが永久に再利用できるわけではありません
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    こちらはTSMC熊本工場の先月の水の使用量です
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    １日平均、４８００ｔの水を汲み上げ、再利用水を含め１万９２００ｔの水を使用
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    ３９６０ｔが毎日、下水処理場へと排水されています
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    工場から放出するしかなくなった水の処理はどうしているのか？
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    日本の基準に適合させるために対策を講じています
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    日本の国の要求はフッ素の放流の制限は８ｐｐｍとなっています
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    さらにそこから厳しく自治体の要求で熊本（菊陽町）では４ｐｐｍが存在しています
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    そのためここに前までは何も設備がなかったけどこれは追加投資を実施しました
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    新しいフッ素を除去するような設備をここに設置した
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    このような設備は台湾にもないですか？
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    台湾にもないです、放流の規制値が日本と台湾では違っていて 日本のほうが厳しくなる
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    ここは日本だけの特殊なシステムです
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    化学物質の含有量などが基準を超えないよう、監視体制に力を入れているとしています
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    こちらで最後の水質を確認した後、こちらから下水道に放流するということになる
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    このように大量の計器をつけて２４時間モニタリングして
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    異常時は当直のスタッフがすぐに対応することになっています
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    こちらはフッ素の値、菊陽町の基準は１リットルあたり４ミリグラムですが
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    さらに厳しい３ミリグラムの自社基準を設け、それ以内におさまるようにしています
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    もし基準を超える値が検出された場合は…
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    自動弁があって自動で切り替わって
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    水道への放流をストップします
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    手前の処理の頭に戻ることでまた処理をかけて変な水がきたときは
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    自動でバルブの切り替えがあってはじいてくれるようになっています
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    こうしたTSMCの水処理によって県内の環境は守られるのか
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    東京大学大学院などで４０年以上半導体の研究開発に携わってきた国内半導体研究の第一人者、熊本県立大学の黒田忠広理事長は…
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    単に不安だとか安心してくださいというだけでなくてサイエンスできちんと説明すべきだと思います
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    もちろんこれは今までもサイエンスをやっていたわけで
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    そのサイエンスが教える範囲内では問題がないからこそそういう説明もしながら始めたわけであります
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    全くわからないのに始めたわけではない
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    熊本の２つの工場を合わせても
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    台湾で稼働するTSMCの生産規模と比べれば１０分の１以下
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    それでも台湾で目立った環境への悪影響は報告されていないということです
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    今日安全でもあした何もしなくていいわけはないと
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    常に第三者がモニターするその結果を地域住民含めて世界に開示する
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    それに対して科学者が第三者の立場から今度はサイエンスの手法をとって冷静にその内容を分析し考える
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    TSMC熊本工場の排水は各ポイントごとに県や熊本市などが監視することになっていて
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    その結果を専門家が分析、公表することになっています
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    TSMC国内メディア初の単独取材、 最後に撮影することができたのは、工場の要、モニタリングルームです
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    映っているのは例えば水なら放流のところ大気の部分など
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    環境に影響するところやウエハーの製造に影響する部分を 常に前のモニターに出して、常に監視している
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    こちらが水処理のすべてのシステムがここに集約されている 先ほど実際に見ていた放流の計器がこの値になります
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    さっき見たフッ素ですね今２．４７と書いてありますが
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    中央監視ルームで現場の計器の値は吸い上げているので管理できる
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    なにかトラブルがあったらこちらの当直のスタッフが
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    ２４時間対応して異常なことが起こらないように対応をしている
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    水の汲み上げ量などを見るに、現在の工場の稼働率は５０％ほど、これからフル稼働を迎えます
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    水処理化のスタッフ含めJASMの社員は熱量を持って情熱を持って
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    工場の運営を行っています
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    今後異常なことが起こらないように工場の安定運転に臨んでいければと思っています
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    地下水を、環境を守るため 行政、そして県民も目を光らせ続けることが重要です
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